美国科锐在SiC基片市场上占有较高份额
2013-11-20 10:28:02 作者:sales10 来源: 浏览次数:0 文字大小:【】【】【

  制造SiC功率元件不可缺少的SiC基片(晶圆)的品质在不断提升。不仅是目前主流的直径为4英寸(100mm)的产品,6英寸(150mm)产品的结晶缺陷也越来越少。

  美国科锐(Cree)在SiC基片市场上占有较高份额,从该公司在SiC国际学会“ICSCRM2013”(2013年9月29日~10月4日于日本宫崎县举行)上发表的内容来看,截至2013年,功率元件用6英寸产品的微管密度在1个/cm2以下,平均水平为0.5个/cm2左右,较好时可达到0.01个/cm2。据估算,采用这种高品质6英寸基片制作10mm见方的功率元件时,合格率高达98.7%。

  科锐以直径为4英寸的基片为例,展示了其基底面位错(BPD)的密度。据科锐介绍,4英寸基片的基底面位错密度为56个/cm2。在基片内17%的范围里,基底面位错为0个,在78%的范围里不到5个。

  据悉,在基底面位错密度为56个/cm2的4英寸基片上层叠厚度为60μm的外延层时,基底面位错的密度会降至2个/cm2。

  另外,与原来相比,还可以减少功率元件用SiC基片的贯通螺旋位错(TSD)密度。以前裸基片和外延基片(层叠外延层的基片)的贯通螺旋位错密度分别为955个/cm2和837个/cm2,现在分降至447个/cm2和429个/cm2,减少了约一半。

  不仅是功率元件用SiC基片,科锐还在从事LED用和高频元件用SiC基片业务。LED用基片方面,6英寸产品的结晶缺陷密度在2010年为8个/cm2,到2013年已经低于2个/cm2。

  高频元件用基片方面,6英寸产品的微管密度目前为0.14个/cm2。这个水平在制作7mm见方的高频元件时可实现96.3%的成品率。

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