台積電投11.14億歐元入夥ASML
2013-11-15 17:12:39 作者:jcmicon622 来源: 浏览次数:0 文字大小:【】【】【


本文简介:[摘要提示]ASMLHoldingN......




關鍵字:TSMC 超紫外光 EUV 微影 晶圓
[摘要提示] ASML Holding NV公司宣佈,台積電(TSMC)已加入其客戶合作投資創新專案,將投資2.76億歐元,在未來五年內共同開發超紫外光(EUV)技術和450mm微影工具,並將投入8.38億歐元取得ASML公司5%股權。ASML與台積公司延續之前193微米浸潤式微影技術的成功經驗,希望繼續攜手領先業界開發下一世代關鍵微影技術,本次合作是ASML與台積公司長期夥伴關係的自然延伸。台......

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