英特爾晶片縱已問世 EUV挑戰仍懸而未決
2013-11-15 17:11:20 作者:jcmicon622 来源: 浏览次数:0 文字大小:【】【】【


本文简介:[摘要提示]作者:麥戴倫英特爾(In......




關鍵字:EUV 微影 光源 HVM 光罩
[摘要提示] 作者:麥戴倫英特爾(Intel)斥資贊助極紫外光(EUV)微影技術的研發,但該技術仍然是一項正進展中的工作。當英特爾公司前不久投資41億美元的股票和資金,用於協助提高450mm晶圓和EUV微影工具的研發時,EUV微影技術的支持者們莫不感到歡欣鼓舞。“這是長久以來我所聽到的最好消息。”Cymer公司EUV行銷和業務開發資深總監David Brandt表示。Cymer是ASML的長期......

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